特許
J-GLOBAL ID：200903079109185605

自発光装置及びその作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
柴田 典子

柴田 典子 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-087851
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345174
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 同一のマルチチャンバーでEL素子のEL層、陰極を形成し、さらに、EL素子上にEL素子を封止する層を連続的に形成することを目的とする。【解決手段】 EL層及びカバー層を同一の成膜方法で形成することにより、図1(A)に示すように、EL層、陰極、バリア層及びカバー層を連続的に同一のマルチチャンバーで形成することができる。以上により、図1(B)に示すようなEL素子の封止構造を形成することができる。
請求項（抜粋）：
EL素子を有する自発光装置において、前記EL素子を覆う無機材料からなる膜と、前記無機材料からなる膜を覆う有機材料からなる膜と、を有することを特徴とする自発光装置。
IPC (3件)：
H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A
Fターム (9件)：
3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA01 ,  3K007EA04 ,  3K007EB00 ,  3K007FA02
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (3件)

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