特許

J-GLOBAL ID：200903079145857873

半導体試験装置

発明者： 河島 秀実
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023168
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221242
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 被測定デバイスの入出力端子数が半導体試験装置の測定回路ブロックの端子数より多い場合であっても、被測定デバイスの同時試験数の減少を最小限に抑えることができる半導体試験装置を提供する。【解決手段】 複数の被測定デバイス3に対して、複数の測定回路ブロックが設けられ、複数の被測定デバイス3を同時に試験できる半導体試験装置において、前記複数の測定回路ブロックの出力を全て入力し、各被測定デバイス3の判定結果を演算する演算回路6を設けた。

請求項（抜粋）：

複数の被測定デバイスに対して、複数の測定回路ブロックが設けられ、複数の被測定デバイスを同時に試験できる半導体試験装置において、前記複数の測定回路ブロックの出力を全て入力し、各被測定デバイスの判定結果を演算する演算回路を有することを特徴とする半導体試験装置。

FI (2件)：

G01R 31/28 Y ,  G01R 31/28 H

Fターム (3件)：

2G032AF02 ,  2G032AG03 ,  2G032AL11

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 半導体試験装置用不良解析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-079525   出願人：株式会社アドバンテスト
• LSI試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-226386   出願人：横河電機株式会社
• 特開昭59-019873