特許
J-GLOBAL ID：200903079246285374
真空チャンバー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-178469
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294997
出願日： 2007年07月06日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】真空チャンバー設置した後においても、ユーザーの要望等によって真空チャンバーの形状や大きさを簡易に変更することができるようにする。【解決手段】本発明に係る真空チャンバー1は、基板搬送ロボットが設置される枠状のチャンバー本体2と、チャンバー本体2の少なくとも一側面部に配置された多角形状の側面枠3a,3bとからなり、チャンバー本体2と側面枠3a,3bとが相互に分割自在に組み立てられている。この構成により、真空チャンバーを組み立てた後において、ユーザーの要求等に応じて別の多角形状の側面枠に容易に取り替えて真空チャンバーの形状を変更することができ、ユーザーの要求仕様にフレキシブルに対応することが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板搬送ロボットを備えた真空チャンバーにおいて、
前記基板搬送ロボットが設置される枠状のチャンバー本体と、
前記チャンバー本体の少なくとも一側面部に配置された多角形状の側面枠とからなり、
前記チャンバー本体と前記側面枠とが相互に分割自在に組み立てられてなる
ことを特徴とする真空チャンバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, C23C14/34 J
4K029KA01
, 5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031MA04
, 5F031MA29
, 5F031NA05
, 5F031NA07
, 5F031PA05
, 5F031PA18
