特許

J-GLOBAL ID：200903079274160889

高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法および高純度酸化亜鉛単結晶

発明者： 前田 克己 ,  鈴木 崇雄 ,  鎌田 和典 ,  藤澤 英夫
出願人/特許権者： 東京電波株式会社 ,  三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-025983
公開番号（公開出願番号）：特開2007-204324
出願日： 2006年02月02日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】酸化亜鉛単結晶を熱処理してLi濃度の十分に少ない高純度酸化亜鉛単結晶を製造し、熱処理後の加工工程で歩留まりを低下させることなく、酸化亜鉛単結晶の収率を向上させる高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛単結晶の熱処理温度が1100〜1400°Cであり、該熱処理時間が(a)熱処理温度が1100°C以上1225°C以下の場合は式(1)を、(b)熱処理温度が1225°Cを超えて1400°C以下の場合は式(2)を満たすとともに、該熱処理温度からの降温処理を350°C/時間以下の降温速度で行う。[熱処理時間(時間)]≧-0.04×[熱処理温度(°C)]+50 式(1)[熱処理時間(時間)]≧1 式(2)【選択図】図5

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛単結晶を熱処理して高純度酸化亜鉛単結晶を製造する方法において、 該熱処理温度が1100〜1400°Cであり、 該熱処理時間が (a)熱処理温度が1100°C以上1225°C以下の場合は式(1)を、 (b)熱処理温度が1225°Cを超えて1400°C以下の場合は式(2)を満たし、 該熱処理温度からの降温処理を350°C/時間以下の降温速度で行うことを特徴とする高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法。 [熱処理時間(時間)]≧-0.04×[熱処理温度(°C)]+50 式(1) [熱処理時間(時間)]≧1 式(2)

IPC (2件)：

C30B 29/16 ,  C30B 33/02

FI (2件)：

C30B29/16 ,  C30B33/02

Fターム (9件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077BB07 ,  4G077CB03 ,  4G077EB01 ,  4G077FE03 ,  4G077FE11 ,  4G077FE13 ,  4G077HA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 酸化亜鉛単結晶
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-109729   出願人：東京電波株式会社, 三菱化学株式会社
• 酸化亜鉛単結晶ウエファーの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-276296   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構, 東京電波株式会社

審査官引用 (4件)

• 酸化亜鉛単結晶ウエファーの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-276296   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構, 東京電波株式会社
• 特開平1-301597
  
• 特開平1-242499
  
• 特開昭62-226900