特許
J-GLOBAL ID：200903079300627200
連続成膜装置
出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所
株式会社神戸製鋼所 について
代理人 (1件)： 本田 ▲龍▼雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-202735
公開番号（公開出願番号）：特開2008-031493
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】 両サイド解放タイプの連続成膜装置において、成膜ロールの下方に成膜源を設けた場合でもそのメンテナンス性に優れた連続成膜装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバ1を備え、真空チャンバ1の口字形外枠部25を固定チャンバ部15とし、前記外枠部25の側方開口を閉塞する側面壁26L,26Rを移動チャンバ部16L,16Rとし、前記固定チャンバ部15に対して移動チャンバ部をヒンジ機構18により開閉自在に設ける。前記固定チャンバ部15に成膜ロール2を回転自在に設け、その側方に配置される側方成膜源7L,7Rを前記移動チャンバ部16L,16Rに着脱自在に設け、その下方に配置される下方成膜源8L,8Rを前記固定チャンバ部15内に設けられたヒンジ機構19によって前記固定チャンバ部15の内外に出退自在に設ける。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被成膜基材を搬送しながら成膜する連続成膜装置であって、
背面壁とこれに対向配置された正面壁とを上面壁及び下面壁によって連結した外枠部と、この外枠部の左右の開口を閉塞する左右の側面壁を有する真空チャンバと、前記真空チャンバ内に収容されて回転自在に設けられた成膜ロールと、前記成膜ロールに巻き掛けられた被成膜基材に側方から成膜する側方成膜源及び下方から成膜する下方成膜源と、前記被成膜基材を前記成膜ロールに供給する巻出しロール及び成膜後の被成膜基材を巻き取る巻取りロールとを備え、
前記真空チャンバの前記背面壁の一方の側端部と前記正面壁の一方の側端部あるいは側部を通る第1分割面と、前記背面壁の他方の側端部と前記正面壁の他方の側端部あるいは側部を通る第2分割面とによって、前記真空チャンバを左分割部、中央分割部及び右分割部に3分割し、前記中央分割部を固定チャンバ部とし、前記左分割部及び右分割部をそれぞれ左右の移動チャンバ部とし、前記固定チャンバ部に対して前記左右の移動チャンバ部を開閉機構により開閉自在に設け、
前記成膜ロール、巻出しロール及び巻取りロールを前記固定チャンバ部の背面壁及び正面壁に回転自在に支持し、
前記側方成膜源を前記移動チャンバ部に着脱自在に設け、
前記下方成膜源を前記固定チャンバ部内に設けられた出退機構によって前記固定チャンバ部の内外に出退自在に設けた、連続成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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