特許
J-GLOBAL ID：200903079393546426

マウント方法及び装置

発明者：
佐々木 淳

佐々木 淳 について


出願人/特許権者：
エルピーダメモリ株式会社

エルピーダメモリ株式会社 について


代理人 (1件)： 丸山 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-427371
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191073
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 ペレットをマウントする際にチップにクラックや欠けが発生することを防止したマウント装置及びマウント方法を提供する。【解決手段】 保持したペレット4を実装済みペレット1上に載置し、第1の荷重を負荷して仮圧着する第1のヘッド2と、第1のヘッド2によって仮圧着されたペレット4に対して第1の荷重よりも大きい第2の荷重を負荷して圧着する第2のヘッド7とを有するマウント装置であって、第2のヘッド7は、ペレットごとに未使用の部分が張り渡されるペレット保護シート16と、任意の方向へ回転自在に支持され、ペレット保護シート16を介してペレット4と当接するボール6と、ボール6をペレット保護シート16の側に弾発付勢し、ペレット保護シート16を介してペレット4に第2の荷重を負荷するスプリング11と、ペレット保護シート16を介してペレット4に当接したボール6をペレット保護シート16上で転動させる駆動機構18とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
保持したワークをフレーム又は実装済みペレット上に載置し、第1の荷重を負荷して仮圧着する第1のヘッドと、前記第1のヘッドによって仮圧着されたワークに対して前記第1の荷重よりも大きい第2の荷重を負荷して圧着する第2のヘッドとを有するマウント装置であって、 前記第2のヘッドは、 ワークごとに未使用の部分が張り渡される保護シートと、 任意の方向へ回転自在に支持され、前記保護シートを介して前記ワークと当接する略球体の押し子と、 該押し子を前記保護シートの側に弾発付勢し、前記保護シートを介して前記ワークに前記第2の荷重を負荷する弾性部材と、 前記保護シートを介して前記ワークに当接した前記押し子を前記保護シート上で転動させる駆動機構とを有することを特徴とするマウント装置。
IPC (1件)：
H01L21/52
FI (1件)：
H01L21/52 F
Fターム (1件)：
5F047FA51
引用特許：
出願人引用 (4件)
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