特許

J-GLOBAL ID：200903079398232322

基板部材の位置決め保持装置

発明者： 安田 守 ,  藤崎 暢夫
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123787
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313815
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】本発明は、基板部材を観察ステージ上の基準位置にスムーズに移動して位置決め保持できる基板部材位置決め保持装置を提供する。【構成】ガラス基板20を吸着パット21a〜21fを介して載置固定する保持ステージ19を、押付けシリンダ27、28の付勢によりXステージ16上の基準ピン18a、18b、18c方向に移動させながら、これら基準ピン18a、18b、18cにガラス基板20の側縁を直接押し当てることで位置決めを行い、この位置決め状態から保持ステージ固定部26の固定シリンダ263を付勢して保持ステージ19をXステージ16に固定する。

請求項（抜粋）：

基板部材を観察する顕微鏡の観察ステージに設けられる基板部材の位置決め保持装置において、前記観察ステージ上の位置基準を表す基準部材と、前記観察ステージ上に移動可能に設けられ且つ前記基板部材が載置固定される保持ステージと、この保持ステージを前記基準部材に対して移動させるとともに該基準部材により前記基板部材の位置決めを行う保持ステージ移動手段と、前記保持ステージによる前記基板部材の位置決めにより該保持ステージを前記観察ステージに固定するステージ固定手段とを具備したことを特徴とする基板部材の位置決め保持装置。

IPC (5件)：

G02B 21/24 ,  G01N 21/13 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G02B 21/24 ,  G01N 21/13 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 位置決めテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169569   出願人：株式会社ニコン
• 基板の位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-266676   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭63-021588
  
• 特開昭63-139291