特許
J-GLOBAL ID：200903079474440770
光学式スポット格子アレイ印刷装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
, 鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-542405
公開番号（公開出願番号）：特表2006-502558
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
レジストが積層された基板を横切って光ビームのスポット格子アレイを走査することにより像が形成される高解像度かつ高データレートのスポット格子アレイ印刷システムが提供される。狭いメインローブを与えるように光ビームをアポダイジングすることにより高解像度が達成される。サイドローブがレジストのスレッシュホールドより高いエネルギーを含まないように確保し、無記憶レジストを使用し、更に、スポット格子アレイパターン及びレジストの記憶なし特性に使用される傾斜及びインターリーブ型走査パターンを使用することにより、基板に対するサイドローブの望ましからぬ記録が防止される。
請求項（抜粋）：
無記憶レジストが積層された基板に使用するための印刷装置において、
入力信号に応答して個々に変調された実質的に平行な光ビームのアレイを発生するためのプログラム可能な光放射源と、
上記光ビームを狭めるためのビーム整形装置と、
上記狭められた変調光ビームを受け取るように配置され、上記狭められた変調光ビームを収束するための収束光学系と、
上記基板と、上記収束され狭められた変調光ビームとの間に直線移動、即ち傾斜走査を与える並進移動を導入するための可動ステージと、
を備えた印刷装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 3/00
, G03F 7/20
H01L21/30 529
, G02B3/00 A
, G03F7/20 501
, H01L21/30 515D
, H01L21/30 519
2H097AA03
, 2H097BB10
, 2H097LA10
, 2H097LA11
, 2H097LA20
, 5F046BA06
, 5F046BA07
, 5F046CB25
, 5F046DA12
