特許
J-GLOBAL ID：200903079477007962
半導体試験システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-136227
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332189
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】 より効率的で最適な半導体試験を実現できる半導体試験システムを提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ウェハに形成された半導体チップに対する複数の試験項目の試験をテストプログラムに基づいて行う半導体試験装置3と、このテストプログラムを管理する管理装置2とが、通信回線網4を介して接続される半導体試験システム1であり、管理装置2は、複数の試験項目の試験結果データを収集する収集手段51と、収集された試験結果データに基づいて、全ての半導体チップに対してまたは所定の条件が成立した半導体チップに対して省略可能な試験項目を決定する決定手段51)と、決定された試験項目を省略するテストプログラムを生成するテストプログラム生成手段61と、生成されたテストプログラムを半導体試験装置3に送信する送信手段62と、を備えた。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハに形成された半導体チップに対する複数の試験項目の試験をテストプログラムに基づいて行う半導体試験装置と、この半導体試験装置で使用される前記テストプログラムを管理する管理装置と、が通信回線網を介して接続される半導体試験システムであって、前記管理装置は、前記半導体チップに対する複数の試験項目の試験結果データを収集する収集手段と、前記収集手段により収集された試験結果データに基づいて、全ての半導体チップに対してまたは所定の条件が成立した半導体チップに対して省略可能な試験項目を決定する決定手段と、前記決定手段により決定された試験項目を、全ての半導体チップに対してまたは所定の条件が成立した半導体チップに対して省略するテストプログラムを生成するテストプログラム生成手段と、前記テストプログラム生成手段によって生成されたテストプログラムを前記半導体試験装置に送信する送信手段とを備え、半導体試験装置は、前記送信手段により送信された前記テストプログラムに従って試験を行うことを特徴とする半導体試験システム。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, G01R 31/28
, G01R 31/3183
, H01L 21/66
H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 B
, H01L 21/66 Z
, G01R 31/28 H
, G01R 31/28 Q
2G132AA00
, 2G132AB01
, 2G132AD01
, 2G132AE19
, 2G132AE22
, 2G132AE23
, 2G132AE24
, 2G132AG02
, 2G132AL00
, 2G132AL12
, 4M106AA01
, 4M106DD30
