感光性樹脂組成物およびその用途

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188146
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010266
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】追従性に優れ、PDP等の大形ガラス基材上に電極を形成する等のパターン形成用途に有用な感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を90〜150重量部、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなる感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルム。

請求項（抜粋）：

重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を90〜150重量部、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , H01J 9/02 , C08F 2/44 , C09D 4/06

FI (5件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , H01J 9/02 F , C08F 2/44 C , C09D 4/06

Fターム (71件)：

2H025AA00 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC31 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CB14 , 2H025CB20 , 2H025CB22 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011PA25 , 4J011PA28 , 4J011PA69 , 4J011PB40 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA15 , 4J011QA17 , 4J011QA33 , 4J011QA34 , 4J011QA46 , 4J011RA03 , 4J011RA12 , 4J011SA02 , 4J011SA04 , 4J011SA14 , 4J011SA16 , 4J011SA17 , 4J011SA19 , 4J011SA22 , 4J011SA23 , 4J011SA25 , 4J011SA29 , 4J011SA32 , 4J011SA34 , 4J011SA38 , 4J011SA42 , 4J011SA61 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA75 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011TA08 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J011WA02 , 4J038CG031 , 4J038CG141 , 4J038EA011 , 4J038FA012 , 4J038GA01 , 4J038GA03 , 4J038GA06 , 4J038JA36 , 4J038KA04 , 4J038MA14 , 4J038PA17 , 5C027AA01

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-225009
特開昭63-178226
特開平3-006202

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