特許
J-GLOBAL ID：200903079546707300

並列粗微動駆動形多自由度位置決め機構

発明者：
武田 行生

武田 行生 について


出願人/特許権者：
ヒーハイスト精工株式会社

ヒーハイスト精工株式会社 について


代理人 (1件)： 三觜 晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151535
公開番号（公開出願番号）：特開2003-343678
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 大変位・高速且つ微小分解能の位置決めを可能とした、並列粗微動駆動形多自由度位置決め機構を提供する。【解決手段】 ベース2側に微動入力用の直進対偶12を介して連結するベース側連結節6とプラットフォーム3側に第2球対偶7を介して連結したプラットフォーム側連結節8とを、ベース側から2自由度対偶13および粗動入力用の直進対偶11を介在して連結する構成とする。粗動入力用の直進対偶11には、リニアアクチュエータを用いることができ、微動入力用の直進対偶12には、圧電アクチュエータを採用することができる。かかる構成では、ベース2側の直進対偶12によりベース側連結節6を、2自由度対偶13を介し、プラットフォーム側連結節8に対して微動変位させ、粗動入力用の直進対偶11によりプラットフォーム側連結節8側をプラットフォーム側連結節8軸方向に伸縮させることで、プラットフォーム3を変位させる。
請求項（抜粋）：
ベース上にプラットフォームを複数の連結連鎖により位置決め揺動調節可能に支持してなり、これら連結連鎖は、粗動入力用と微動入力用の能動対偶を直列に連結して構成したことを特徴とする並列粗微動駆動形多自由度位置決め機構。
IPC (5件)：
F16H 21/46 ,  B23Q 1/44 ,  B23Q 5/34 510 ,  B25J 11/00 ,  F16H 21/54
FI (6件)：
F16H 21/46 ,  B23Q 5/34 510 F ,  B25J 11/00 D ,  F16H 21/54 ,  B23Q 1/10 ,  B23Q 1/12
Fターム (22件)：
3C007AS24 ,  3C007BS24 ,  3C007HS01 ,  3C007HS26 ,  3C007HS29 ,  3C007HT12 ,  3C048BB20 ,  3C048BC01 ,  3C048CC00 ,  3C048CC17 ,  3C048DD00 ,  3J062AA21 ,  3J062AA39 ,  3J062AB28 ,  3J062AC08 ,  3J062AC09 ,  3J062BA14 ,  3J062CB04 ,  3J062CB15 ,  3J062CB18 ,  3J062CB28 ,  3J062CB33
引用特許：
審査官引用 (7件)
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