対静圧ゼロ点誤差補正機能付差圧測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158145
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337000
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】膜面両側の差圧x=(PH-PL)に比例して変位するセンサダイアフラム(可動電極)10と固定電極11及び12間の静電容量C1,C2を測定し、例えば基準化演算式f(x)=(C1-C2)/(C1+C2-2Cs)(Cs:C1,C2内の前記変位に無関係な浮遊容量)から差圧を求める装置において生じる対静圧ゼロ点誤差としての、静圧0,差圧x=0での基準化演算値f(0)と静圧≠0,差圧x=0での基準化演算値f’(0)との差f’(0)-f(0)を、静圧測定センサを用いずに0にする。【解決手段】対静圧ゼロ点誤差補正手段31は、上記の基準化演算式におけるC1又はC2を係数を乗じた形に変更して差圧を演算する。そしてこの係数は変更した基準化演算式による、静圧0,差圧x=0での演算値と静圧≠0,差圧x=0での演算値との差(対静圧ゼロ点誤差)が0となるように予め定める。

請求項（抜粋）：

自身の膜面両側の差圧に比例して変位する平膜状のダイアフラムの膜面を可動電極の電極面として、このダイアフラムの両面側に、それぞれ第1,第2の同面積の固定電極を、該固定電極の電極面がダイアフラムの膜面と平行になり、且つダイアフラムの中心を通りダイアフラムの膜面に平行な平面に対し面対称となるように設け、少なくとも第1の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量としての第1の静電容量と、第2の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量としての第2の静電容量とを測定して前記差圧を算出し出力する差圧測定装置であって、第1の静電容量または第2の静電容量のいずれか所定の一方の静電容量の測定値に所定の係数を乗じた静電容量値(以下加重静電容量値という)と他方の静電容量の測定値(以下非加重静電容量値という)との差を分子に含み、加重静電容量値と非加重静電容量値との和から、第1の静電容量および第2の静電容量に含まれる、可動電極の変位によって変化しない浮遊静電容量成分に相当する静電容量値を差し引いた値を分母に含む所定の基準化演算式の値が前記差圧を変数として線型に変化するとして該差圧を算出し、この差圧の算出において、前記係数には差圧がゼロで静圧が異なる条件の下での前記基準化演算式の値が等しくなるように予め定めた値を用いることを特徴とする対静圧ゼロ点誤差補正機能付差圧測定装置。

Fターム (7件)：

2F055AA40 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE25 , 2F055FF13 , 2F055GG49

引用特許：

審査官引用 (3件)

変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-063953 出願人：富士電機株式会社
静電容量式圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-302383 出願人：富士電機株式会社
特表平6-507487

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