感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340798
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202603
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】遠紫外線や荷電粒子線に代表される放射線に対して、高感度(低露光エネルギー量)で、解像性能に優れるとともに、ナノエッジラフネスが小さい化学増幅型レジストとして好適に使用することができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される化合物および下記式(2)で表される化合物の群から選ばれる感放射線性酸発生剤、並びに(B)p-(1-エトキシエトキシ)スチレン等に代表されるアセタール基含有スチレン誘導体とp-ヒドロキシスチレンとの共重合体を含有する。【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、R1 およびR2 はアルキル基、フルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよいアリール基を示す。〕

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される化合物および下記式(2)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種からなる感放射線性酸発生剤【化1】〔式(1)において、R1 は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のフルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよい炭素数6〜11のアリール基を示す。〕【化2】〔式(2)において、各R2 は相互に独立に炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のフルオロアルキル基またはフッ素置換されていてもよい炭素数6〜11のアリール基を示す。〕並びに(B)下記式(3)で表される繰返し単位と下記式(4)で表される繰返し単位とを有する樹脂【化3】〔式(3)において、R3 はメチル基またはエチル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕【化4】を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/36 , C08L 25/18 , C09K 3/00 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/36 , C08L 25/18 , C09K 3/00 K , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (16件)：

2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF15 , 2H025BG00 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J002BC121 , 4J002EB106 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002FD146

引用特許：

審査官引用 (1件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-030912 出願人：ジェイエスアール株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

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