特許
J-GLOBAL ID：200903035308314484
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-030912
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231193
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 各種の放射線に有効に感応し、感度、解像度およびパターン形状が優れるとともに、特に「膜面荒れ」および「フッティング」の問題がなく、多様な微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができる化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)p-ヒドロキシスチレン/p-t-ブトキシスチレン共重合体で代表される共重合体、(B)p-ヒドロキシスチレン/p-(1-エトキシエトキシ)スチレン共重合体で代表される、そのポリマー主鎖がアニオン重合により形成された共重合体、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有する共重合体、(B)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(3)で表される繰返し単位とを有する共重合体であって、そのポリマー主鎖がアニオン重合により形成された共重合体、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を示し、R3 は炭素数4〜10の3級アルキル基を示す。〕【化3】〔式(3)において、R4 およびR5 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、R6 は炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、R7 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、またはR6およびR7 が相互に結合して式(3)中の酸素原子と共に6〜8員環のヘテロ環を形成している2価の炭化水素基を示す。〕
IPC (8件)：
G03F 7/039 601
, C08K 5/02
, C08K 5/36
, C08K 5/41
, C08K 5/42
, C08L 25/18
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08K 5/02
, C08K 5/36
, C08K 5/41
, C08K 5/42
, C08L 25/18
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA18
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025CB17
, 2H025CB41
, 2H025CB56
, 4J002BC121
, 4J002EB006
, 4J002EV216
, 4J002EV246
, 4J002EV266
, 4J002EV296
, 4J002FD206
, 4J002GP03
, 4J002GQ05
