特許
J-GLOBAL ID：200903079795525875
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 隆男
, 大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-000719
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195408
出願日： 2004年01月06日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】被検物と光学系との位置関係が変化する場合でも、面位置検出動作を追従させる。【解決手段】光源1から出射した光を被検査面上に投影する光学系3,5と、前記被検査面からの戻り光を分岐する分岐手段2と、分岐手段2によって分岐された一方の光路に配置された、第1のピンホールを有する光絞り部材11と、分岐された他方の光路に配置された、第2のピンホールを有する光絞り部材13とを有する共焦点光学系と、戻り光のうち第1のピンホールを通った光の光量を検出する光量検出手段12と、第2のピンホールを通った光の光量を検出する光量検出手段14と、光量検出手段12、14での検出量の差の基づいて、前記被検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源から出射した光を被検査面上に投影する光学系と、前記被検査面からの戻り光を分岐する分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された一方の光路に配置された、第1のピンホールを有する第1の光絞り部材と、前記分岐手段によって分岐された他方の光路に配置された、第2のピンホールを有する第2の光絞り部材とを有する共焦点光学系と、
前記戻り光のうち前記第1のピンホールを通った光の光量を検出する第1の光量検出手段と、
前記戻り光のうち前記第2のピンホールを通った光の光量を検出する第2の光量検出手段と、
前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差の基づいて、前記被検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065FF10
, 2F065FF44
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065LL20
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065NN02
, 2F065NN16
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
出願人引用 (1件)
-
位置検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-222433
出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (3件)
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焦点検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-113150
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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特開平4-025711
-
測定顕微鏡装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-035530
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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