特許

J-GLOBAL ID：200903079817721207

薬液供給装置の駆動方法

発明者： 矢島 丈夫
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213473
公開番号（公開出願番号）：特開平10-057850
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】 ポンプ室内の残圧の影響を防止して薬液吐出部から所定量の薬液を高精度で吐出し得るようにする。【解決手段】 吸入側バルブ34を閉じかつ吐出側バルブ35を開いた状態のもとで薬液吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、吐出工程終了後にポンプ室内の残圧を除去する残圧除去工程と、残圧が除去された後に吸入側バルブ34を閉じかつ吐出側バルブ35を開いた状態のもとで薬液吐出部内の薬液を戻すサックバック工程と、サックバック工程終了後に吐出側バルブ35を閉じかつ吸入側バルブ34を開いた状態のもとで薬液貯留室内の薬液をポンプ室に案内する吸入工程とを有する。

請求項（抜粋）：

ポンプ室を有しこのポンプ室の容積を変化させる往復動部材と、前記ポンプ室と薬液吐出部とを結ぶ吐出側流路を開閉する吐出側バルブと、薬液貯留室内の薬液を前記ポンプ室に案内する吸入側流路を開閉する吸入側バルブとを有する薬液供給装置の駆動方法であって、前記吸入側バルブを閉じかつ前記吐出側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材を吐出移動させて前記薬液吐出部から薬液を吐出する吐出工程と、吐出工程終了後に前記ポンプ室内の残圧を除去する残圧除去工程と、残圧が除去された後に前記吸入側バルブを閉じかつ前記吐出側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材を吸入移動させて前記薬液吐出部内の薬液を戻すサックバック工程と、サックバック工程終了後に前記吐出側バルブを閉じかつ前記吸入側バルブを開いた状態のもとで前記往復動部材を吸入移動させて前記薬液貯留室内の薬液を前記ポンプ室に案内する吸入工程とを有することを特徴とする薬液供給装置の駆動方法。

IPC (5件)：

B05B 9/043 ,  B01J 4/02 ,  F04B 53/10 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341

FI (5件)：

B05B 9/043 ,  B01J 4/02 B ,  H01L 21/304 341 Z ,  F04B 21/02 C ,  H01L 21/30 564

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 汚染を少なくするための一体型流体分配装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-154122   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-240806   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社, 株式会社イワキ

審査官引用 (2件)

• 汚染を少なくするための一体型流体分配装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-154122   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-240806   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社, 株式会社イワキ