特許
J-GLOBAL ID：200903079849129687
研磨材組成物及び研磨シート
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395656
公開番号（公開出願番号）：特開2002-194333
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】密度や硬度のバラツキが小さく、研磨効率および研磨面の平坦性が研磨シートの研磨材ブロック内ロットでブレが少ない研磨材組成物及び研磨シートを提供する。【解決手段】本発明は、イソシアネート末端プレポリマー(a)とジアミン化合物(b)と微小体(c)とを混合反応させて得られる研磨材であって、前記(b)が4,4’-メチレン-ビス[2-クロロアニリン]を主成分とし、その3量体を7重量%以上11重量%以下含有することを特徴とする研磨材ブロック及びこれを所定厚みに裁断して得られる研磨シートである。
請求項（抜粋）：
イソシアネート末端プレポリマー(a)とジアミン化合物(b)と微小体(c)とを混合反応させて得られる研磨材組成物であって、前記(b)が4,4’-メチレン-ビス[2-クロロアニリン]を主成分とし、その3量体を7重量%以上11重量%以下含有するジアミン化合物であることを特徴とする研磨材組成物。
IPC (5件)：
C09K 3/14 550
, B24B 37/00
, B24D 3/32
, B24D 11/00
, H01L 21/304 622
C09K 3/14 550 C
, B24B 37/00 C
, B24D 3/32
, B24D 11/00 E
, H01L 21/304 622 D
3C058AA09
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058CB10
, 3C058DA17
, 3C063AA10
, 3C063AB07
, 3C063BB01
, 3C063BC03
, 3C063BC09
, 3C063EE26
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
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