特許
J-GLOBAL ID:200903079868333872

高反射鏡

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-034974
公開番号(公開出願番号):特開2005-227469
出願日: 2004年02月12日
公開日(公表日): 2005年08月25日
要約:
【課題】可視光域で高い反射率を有し、耐湿性、特に高温高湿の条件にさらされた後でも高い反射率を維持できる高反射鏡の提供。【解決手段】フィルム基板上に、下地膜、銀膜、酸化防止膜、保護膜がこの順で積層された高反射鏡であって、前記酸化防止膜が酸化物膜であり、かつ前記酸化防止膜の消衰係数が0.1以下であり、前記保護膜の消衰係数が0.01以下であることを特徴とする高反射鏡。前記下地膜が酸化物膜であり、スパッタリング法により形成され、かつスパッタリング法におけるスパッタガスは酸化性ガスを実質的に含まないことが好ましい。【選択図】なし
請求項(抜粋):
フィルム基板上に、下地膜、銀膜、酸化防止膜、保護膜がこの順で積層された高反射鏡であって、前記酸化防止膜が酸化物膜であり、かつ前記酸化防止膜の消衰係数が0.1以下であり、前記保護膜の消衰係数が0.01以下であることを特徴とする高反射鏡。
IPC (1件):
G02B5/08
FI (1件):
G02B5/08 A
Fターム (15件):
2H042DA04 ,  2H042DA11 ,  2H042DA14 ,  2H042DA18 ,  2H042DA21 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00 ,  2H091FA14 ,  2H091FB08 ,  2H091FB13 ,  2H091FC29 ,  2H091GA01 ,  2H091LA06 ,  2H091LA11 ,  2H091LA12
引用特許:
出願人引用 (7件)
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