特許

J-GLOBAL ID：200903079894567466

板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法

発明者： 松井 美和 ,  岩田 充浩 ,  岡田 英生
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332312
公開番号（公開出願番号）：特開2003-128279
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 板状部材の取り出し時の衝撃が小さく、切り離し時の負荷が小さく、板状部材の種類に関わらずスムーズな取り出しが行なえる板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法を提供する。【解決手段】 このウェハ取り出しハンド1では、吸着パッド3a,3bが、図示しない真空ポンプの駆動による吸引によって、ウェハ10の表面に吸着する。また、ベルヌーイ吸着器4も気流を吹き出すことで、ウェハ10に吸着する。この吸着パッド3a,3bとベルヌーイ吸着器4による吸着でもって、ハンド1はウェハ10を保持する。このハンド1は、図4(C)に示す引き上げ途中段階においても、各シリンダ6a,6b,7のピストン18,7aの引き上げ量D1,D2を調整することで、ウェハ10に生じる応力を最小となるようにして、引き上げ時のウェハ10の割れを低減することができる。

請求項（抜粋）：

略四角形状の板状部材の2箇所の対角位置端部を上方から押える押え手段と、上記板状部材の残りの2箇所の対角位置端部を上方から吸着する吸着パッドを有する第1の吸着手段と、上記第1の吸着手段の位置を上下に調整する第1の位置調整手段と、上記板状部材の中央部を上方から吸着するベルヌーイ吸着器を有する第2の吸着手段と、上記第2の吸着手段の位置を上下に調整する第2の位置調整手段とを備えたことを特徴とする板状部材取り出しハンド。

IPC (5件)：

B65H 3/08 321 ,  B25J 13/00 ,  B25J 15/06 ,  B65H 3/14 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65H 3/08 321 ,  B25J 13/00 Z ,  B25J 15/06 M ,  B65H 3/14 ,  H01L 21/68 C

Fターム (32件)：

3C007AS14 ,  3C007DS02 ,  3C007FS01 ,  3C007FS04 ,  3C007FU00 ,  3C007HS14 ,  3C007NS13 ,  3F343FA13 ,  3F343FB19 ,  3F343FC01 ,  3F343FC17 ,  3F343GA01 ,  3F343GB01 ,  3F343GC04 ,  3F343GD04 ,  3F343JB02 ,  3F343JB07 ,  3F343KB05 ,  3F343LC08 ,  3F343LD07 ,  3F343MC13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA24 ,  5F031GA25 ,  5F031GA28 ,  5F031GA41 ,  5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 積重薄板の分離装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-294444   出願人：シャープ株式会社
• 板状体の保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-161203   出願人：株式会社日立製作所
• 板材の一枚捲り方法および一枚捲り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-078713   出願人：横河・ヒューレット・パッカード株式会社