特許
J-GLOBAL ID：200903079902156624
試料分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-014923
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213479
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】正確、確実かつ迅速に異物同定を行うこと。【解決手段】ウエハがプリアライメントされ、ウェハ番号が読取られた(2)後、レシピが読出される(3)。ウェハはXY-ステ-ジに搬送され(4)、アライメントされる(5)。ウェハマップが読出され、表示される(6)。オペレ-タはウェハマップ上の異物のうち、分析したい異物を指定し(7)、それが電子ビ-ム直下に来るようにステ-ジ移動される(8)。走査電子ビ-ムが指定異物上に照射され、SEM像が形成される。SEM像は対応する参照用SEM画像と比較され、指定異物の精密な位置決めが行われる(9)。指定異物上に電子ビ-ムを一点照射し、放出された特性X線を検出し、そのスペクトルは表示される(10)。そのスペクトルは参照用スペクトルと比較され、同一と推定される参照用スペクトルがリストアップされる(11)。
請求項（抜粋）：
試料を分析してそのスペクトルを生成する試料分析装置であって、参照用スペクトルをライブラリとして予め登録しておき、その登録された参照スペクトルを読出して、前記生成されたスペクトルと比較し、その結果その生成されたスペクトルと同一と推定される参照スペクトルを選択するように構成したことを特徴とする試料分析装置。
IPC (4件)：
G01J 3/02
, G01J 3/28
, G01N 23/225
, G01N 27/62
G01J 3/02 R
, G01J 3/28
, G01N 23/225
, G01N 27/62 D
