特許

J-GLOBAL ID：200903079937584378

透明導電膜付き基体、その製造方法および太陽電池

発明者： 光井 彰 ,  佐藤 一夫
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-109804
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015787
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】スパッタ法により高速で成膜でき生産性に富む、表面凹凸構造を有する透明導電膜付き基体とその製造方法および該透明導電膜付き基体を用いてなる太陽電池の提供。【解決手段】基体上に形成された酸化チタンを主成分とする膜に接して酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を積層する透明導電膜付き基体とその製造方法および該透明導電膜付き基体を用いた太陽電池。

請求項（抜粋）：

基体上に形成された酸化チタンを主成分とする膜の上に接して酸化亜鉛を主成分とする透明導電膜を積層する透明導電膜付き基体の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 31/04 M ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透明導電体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133718   出願人：積水化学工業株式会社
• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-224673   出願人：旭硝子株式会社