特許
J-GLOBAL ID：200903079996659098
ウェーハ吸着テーブル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336715
公開番号（公開出願番号）：特開平10-178087
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】バッキング材を用いたウェーハ吸着テーブルにおいて、吸着したウェーハを容易に離脱することができるウェーハ吸着テーブルを提供する。【解決手段】本発明によれば、ウェーハ吸着テーブル44は、バッキング材により成形され、ウェーハ50の吸着面に穴44A、44A...を有するとともに、これらの穴44A、44A...の間に裏面まで貫通する孔44B、44B、...が穿設される。ウェーハ50を吸着面に押し当てるとともに、ウェーハ吸着テーブル44の裏面の隙間46を圧力調整装置により真空に引くとウェーハ50はウェーハ吸着テーブル44の吸着面に吸着し、一方、ウェーハ吸着テーブル44の裏面の隙間46に空気を送り込み、隙間46の気圧を増加させると、孔44B、44B、...を介してウェーハ50に剥離力が働き、ウェーハ50が吸着面から剥離する。
請求項（抜粋）：
吸着面に多数の穴を有するバッキング材から成り、前記穴の膨縮により前記ウェーハを吸着面に吸着保持するウェーハ吸着テーブルにおいて、前記ウェーハ吸着テーブルに貫通する孔を穿設し、該孔から前記吸着面に気体を送り込むことにより、前記吸着面に吸着されたウェーハに剥離力を与え、前記ウェーハを前記吸着面から剥離することを特徴とするウェーハ吸着テーブル。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, H01L 21/304 321
H01L 21/68 P
, B25J 15/06 K
, H01L 21/304 321 H
