特許
J-GLOBAL ID：200903080157969896

基板処理装置

発明者：
宮守 秀勝

宮守 秀勝 について

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布澤 礼三

布澤 礼三 について

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高畑 覚

高畑 覚 について

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尾崎 行雄

尾崎 行雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-067533
公開番号（公開出願番号）：特開2007-243119
出願日： 2006年03月13日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】 基板処理の変更があった場合に、対応が可能な様にバルブの使用禁止についての汎用性を増すと共に使用禁止の確実性を増大させるものである。 【解決手段】 ガスの給排に伴うバルブの開閉等の基板処理内容が記載されたレシピと、該レシピの実行指示を行う制御演算部とを有する第1制御手段と、該第1制御手段からの指示に従って、前記レシピを実行する為、制御パラメータを制御する第2制御手段とを具備する基板処理装置に於いて、前記第1制御手段は前記レシピに対応してバルブの使用を規定したテーブルと、前記レシピに規定したバルブの規定内容と前記テーブルに規定したバルブの規定内容とを比較し整合性を判定する判定手段とを有する。 【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ガスの給排に伴うバルブの開閉等の基板処理内容が記載されたレシピと、該レシピの実行指示を行う制御演算部とを有する第1制御手段と、該第1制御手段からの指示に従って、前記レシピを実行する為、制御パラメータを制御する第2制御手段とを具備する基板処理装置に於いて、前記第1制御手段は前記レシピに対応してバルブの使用を規定したテーブルと、前記レシピに規定したバルブの規定内容と前記テーブルに規定したバルブの規定内容とを比較し整合性を判定する判定手段とを有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/52
FI (2件)：
H01L21/31 E ,  C23C16/52
Fターム (9件)：
4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030KA41 ,  4K030KA43 ,  5F045AA20 ,  5F045BB10 ,  5F045DP19
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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