特許

J-GLOBAL ID：200903002893876233

インターロック機構,インターロック方法および熱処理装置

発明者： 金子 健吾
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275967
公開番号（公開出願番号）：特開2003-084801
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 仕様変更に柔軟に対応でき,簡易な構成および回路の多重化により故障時の安全性の高いインターロック機構,その方法,それを採用した成膜処理装置を提供する。【解決手段】 インターロック対象である例えば処理ガスのバルブを駆動制御する駆動制御200と,駆動制御部200を制御するインターロック制御部100とから構成され,そのそれぞれには同一動作を行う2重化されたファームウエア仕様の子制御部114および116,202および204が備えられ,2つの子制御部114,116,または子制御部202,204の入力および/または出力が不一致の場合には,インターロック対象である装置の全バルブ電源供給を遮断するインターロック機構を構成する。

請求項（抜粋）：

インターロック対象と,前記インターロック対象の動作を制御する制御装置とを備えた,インターロック機構であって,前記制御装置は,同一動作を行う複数の制御部を備えており,前記複数の制御部の入力および/または出力が不一致の場合には,前記インターロック対象に対してインターロック動作を行うことを特徴とする,インターロック機構。

IPC (4件)：

G05B 9/02 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

G05B 9/02 G ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/31 B

Fターム (23件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA17 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030KA04 ,  4K030KA41 ,  5F045AA06 ,  5F045BB20 ,  5F045DP19 ,  5H209AA20 ,  5H209BB01 ,  5H209CC01 ,  5H209DD02 ,  5H209DD04 ,  5H209GG05 ,  5H209HH02 ,  5H209HH04 ,  5H209SS01 ,  5H209SS04 ,  5H209SS07

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開平3-201102
  
• 車両の自動運転システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-195065   出願人：株式会社デンソー, トヨタ自動車株式会社
• プロセッサ監視システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148283   出願人：日本電気株式会社
• 二重系電子連動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-190718   出願人：三菱電機株式会社
• インターロック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-247305   出願人：東京エレクトロン東北株式会社

審査官引用 (6件)

• 二重系電子連動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-190718   出願人：三菱電機株式会社
• インターロック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-247305   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
• 特開平3-201102
  
• 特開平3-201102
  
• 車両の自動運転システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-195065   出願人：株式会社デンソー, トヨタ自動車株式会社
• プロセッサ監視システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148283   出願人：日本電気株式会社

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 分散形ディジタル式バーナ自動制御装置 PROCESS-B

審査官引用 (1件)

• 分散形ディジタル式バーナ自動制御装置 PROCESS-B