特許
J-GLOBAL ID：200903074284692852

半導体製造装置

発明者：
米林 亨

米林 亨 について

, 
布村 一朗

布村 一朗 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (4件)： 石戸 久子 ,  ▲橋▼場 満枝 ,  赤澤 日出夫 ,  山口 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-100037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311553
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集してデータベースに保存した後は、データベースのファイルを一覧画面で表示できると共に所望の項目のファイル検索ができるようにする。【解決手段】操作部2のデータ入力モジュール2aから入力されたデータはデータ表示モジュール2bに表示されると共にデータ設定モジュール2cによってファイルに編集されてデータベース2dに保存される。また、データ表示モジュール2bは、SEMI規格で規定しているファイル名、編集日時、編集者名などの項目をファイル一覧画面に表示させることができる。ユーザがファイル一覧画面から検索項目を選択すると、ファイル検索モジュール2eがデータベース2dから対応する項目を検索してファイル一覧画面に表示させる。よって、ファイル一覧画面をスクロールすることなく所望のファイルを検索することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レシピファイルおよび各種設定パラメータファイルが格納されたデータベースと選択された検索項目により前記データベースから対応する前記ファイルを検索する検索手段を具備した半導体製造装置において、 前記ファイル検索手段が、前記ファイルの変更履歴に関わる属性を有する所定の項目を検査項目とし表示するとともに、前記ファイルを前記データベースから検索する機能を有することを特徴とする半導体製造装置。
IPC (2件)：
H01L21/02 ,  H01L21/205
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/205
Fターム (3件)：
5F045BB10 ,  5F045DP19 ,  5F045GB16
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM