特許
J-GLOBAL ID：200903080179127589
表面形状測定装置および表面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-349144
公開番号（公開出願番号）：特開2005-114549
出願日： 2003年10月08日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 逐次2点法において変位センサの姿勢変化によるピッチング誤差を除去し、表面形状計測の精度を向上させる。【解決手段】 変位センサA3および変位センサB4を保持するセンサユニットをX軸スライド7に沿って走査させ、逐次2点法によって測定対象W1 の表面形状を演算する際に、走査中の両変位センサ3、4の姿勢変化によるピッチング誤差を除去するために、X軸スライド7の一端に配設されたレーザ測長器用光源10、干渉計11およびセンサユニット側のターゲットミラー12からなるレーザ測長器によってセンサユニットの傾斜角度を計測し、得られた角度データを両変位センサ3、4による高さ位置データに取り込んで補正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定面の異なる部位の高さ位置をそれぞれ検出する少くとも2個の変位センサを所定の走査方向に所定のセンサ間隔で保持するセンサユニットと、前記センサユニットを前記走査方向に走査させて前記センサ間隔毎に前記2個の変位センサによる前記被測定面の高さ位置データを得るための走査ステージと、前記走査ステージ上の前記センサユニットの傾斜角度を計測する角度計測手段と、前記角度計測手段による角度データに基づいて前記変位センサによる前記高さ位置データを補正する補正手段と、補正された前記高さ位置データに基づいて逐次2点法によって前記被測定面の表面形状を表わす形状データを得る演算手段を備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F069AA06
, 2F069AA66
, 2F069EE03
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG58
, 2F069GG59
, 2F069GG63
, 2F069HH09
, 2F069HH30
, 2F069JJ07
, 2F069NN08
, 2F069QQ10
