逐次2点法による形状精度測定装置および逐次2点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339793
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157951
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】逐次2点法による測定にレーザ変位計を容易に用い得るようにすることにある。【解決手段】二つのレーザ変位計4,5を、テーブル1cに対して設定した測定線の延在方向に沿って一定間隔をあけて整列させ、テーブル1cから概略等距離離間させてテーブル1cに向けて保持する変位計保持部材3と、その変位計保持部材3を前記測定線に沿ってテーブル1cに対し相対移動させる工作機械本体1aと、テーブル1cに照射されるレーザ変位計4,5からのレーザビームの位置を変位計保持部材3の相対移動に伴って順次に検出するCCD2と、変位計保持部材3の相対移動に伴ってテーブル1cにおける一方のレーザ変位計4からのレーザビームの位置に他方のレーザ変位計5からのレーザビームの位置が一致するまでの変位計保持部材3の相対移動量から求めた二つのレーザ変位計4,5の間隔に等しい距離だけ変位計保持部材3が相対移動する毎に二つのレーザ変位計4,5の出力信号を取り込み、それらの出力信号を逐次2点法に基づいて演算処理してテーブル1cの真直誤差曲線を求める制御装置1bと、を具えるものである。

請求項（抜粋）：

形状精度の測定対象(1c)に対して設定した測定線の延在方向に沿って二つのレーザ変位計(4, 5)を一定間隔をあけて整列させるとともにそれら二つのレーザ変位計を前記測定対象から概略等距離離間させてその測定対象に向けて保持する変位計保持部材(3)と、前記変位計保持部材を前記測定線に沿って前記測定対象に対し相対移動させる保持部材相対移動手段(1a)と、前記測定対象に照射される前記二つのレーザ変位計からのレーザビームの位置を前記変位計保持部材の相対移動に伴って順次に検出する光センサ(2)と、前記変位計保持部材の相対移動に伴って前記測定対象における前記二つのレーザ変位計のうちの一方のレーザ変位計からのレーザビームの位置に他方のレーザ変位計からのレーザビームの位置が一致するまでの前記変位計保持部材の相対移動量から求めた前記二つのレーザ変位計の間隔に等しい距離だけ前記変位計保持部材が相対移動する毎に前記二つのレーザ変位計の出力信号を取り込み、それらの出力信号を逐次2点法に基づいて演算処理して前記測定対象の真直誤差曲線を求める演算処理手段(1b)と、を具えることを特徴とする、逐次2点法による形状精度測定装置。

IPC (4件)：

B23Q 17/24 , G01B 11/24 , G01B 11/245 , G01B 11/30 101

FI (4件)：

B23Q 17/24 Z , G01B 11/30 101 A , G01B 11/24 A , G01B 11/24 N

Fターム (19件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA47 , 2F065BB02 , 2F065BB15 , 2F065BB29 , 2F065DD03 , 2F065FF09 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065PP05 , 2F065PP12 , 3C029BB01 , 3C029BB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

真直度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-295830 出願人：日立造船株式会社
遠隔計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-258455 出願人：財団法人電力中央研究所
路面凹凸計測車
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-029056 出願人：佐藤壽芳, 日瀝化学工業株式会社, 株式会社小松製作所

全件表示

前のページに戻る