特許

J-GLOBAL ID：200903080182226652

周波数変調可能な共振型光スキャナ

発明者： 高 泳 哲 ,  李 振 鎬 ,  李 柱 賢 ,  文 龍 權
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-308316
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128551
出願日： 2004年10月22日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 周波数変調可能な共振型光スキャナを提供する。【解決手段】 基板と、前記基板から所定高さ離隔して配置され、その上面に光走査面が形成されたステージと、前記ステージの両側中央部をそれぞれ支持するトーションバネと、前記基板に固定されて前記トーションバネを支持する支持部と、前記ステージを前記トーションバネで形成される中心軸を中心として回動させる駆動部と、前記ステージに対応する前記基板領域に配置された平板状のチューニング電極と、を備える周波数変調可能な共振型光スキャナ。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板から所定高さ離隔して配置され、その上面に光走査面が形成されたステージと、 前記ステージの両側中央部をそれぞれ支持するトーションバネと、 前記基板に固定されて前記トーションバネを支持する支持部と、 前記ステージを前記トーションバネで形成される中心軸を中心として回転させる駆動部と、 前記ステージに対応する前記基板領域に配置された平板状のチューニング電極と、を備えることを特徴とする1軸駆動光スキャナ。

IPC (2件)：

G02B26/10 ,  B81B3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  B81B3/00

Fターム (6件)：

2H045AB06 ,  2H045AB08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045BA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許出願公開第2003/39089号明細書
  
• 米国特許第6,535,325号明細書
  

審査官引用 (4件)

• マイクロミラー駆動装置及びその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-056564   出願人：三星電子株式会社
• 共振素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-001412   出願人：株式会社村田製作所
• 光スキャナおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-244901   出願人：三星電子株式会社
• 光スキャナとその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-205707   出願人：日本電気株式会社