特許

J-GLOBAL ID：200903080190554634

三次元座標測定装置

発明者： 岸田 任晤
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316789
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167617
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造で被測定物の測定時間を短縮する。【構成】 光源部40は、3個の半導体レーザ42、44、46が縦方向に並列配置され、コリメートレンズ48、50、52、ロッドレンズ54を通過することによって扇状のスリット光を形成し、被測定物14へ照射する。3本のスリット光を同時又は順次照射することにより、測定装置ユニット18の同一の高さ位置で被測定物14の異なる高さ位置を照射することができ、副走査移動を従来の移動回数の1/3に減らすことができる。受光部56では、受光レンズ58が反射光を集光し、CCDエリアセンサ60上に結像させ、主走査する。CCDエリアセンサ60では、受光した光量に応じて電気信号を出力し、演算処理部62へ供給する。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面に対して主走査方向に扇状に拡がるスリット光を照射する光源部と、前記スリット光の照射による前記被測定物の表面からの反射光を受光し被測定物の明暗に応じた電気信号を出力する光電変換素子と、をを備えた測定ユニットを副走査方向へ順次移動させることによって、光電変換素子からの電気信号に基づいて前記被測定物の表面形状の座標を演算する三次元座標測定装置であって、前記光源部が前記スリット光を副走査方向に複数本出力する機能を有し、順次又は同時に照射することによって、前記測定ユニットの1回の副走査方向への移動時に前記スリット光の出力本数に応じた主走査を行うことを特徴とする三次元座標測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01C 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-138507
  
• マルチスリット投光器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063232   出願人：富士通株式会社
• 投光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-287972   出願人：富士通株式会社
• 特開平3-138507