特許

J-GLOBAL ID：200903080204336392

近視野光学顕微鏡装置

発明者： 矢野 亨治 ,  教學 正文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052765
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249646
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微小開口部近傍に存在するエバネッセント場の方向性を制御することにより、物質の方向に依存する光学情報を得るための近視野光学顕微鏡装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、直線偏光を発生する光源からの光の波長より小さい径の微小開口部を有し、該光源からの光を該微小開口部に導き、かつ該光源からの光により該微小開口部近傍にエバネッセント場を生じさせる光ファイバプローブを備え、該光ファイバプローブに近接・対向させて配置された試料との相互作用によって生じる散乱光を、光検出手段によって検出し、光学情報を得る近視野光学顕微鏡装置であって、前記光ファイバプローブが前記光源からの光の偏波を保存する特性を有することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

直線偏光を発生する光源からの光の波長より小さい径の微小開口部を有し、該光源からの光を該微小開口部に導き、かつ該光源からの光により該微小開口部近傍にエバネッセント場を生じさせる光ファイバプローブを備え、該光ファイバプローブに近接・対向させて配置された試料との相互作用によって生じる散乱光を、光検出手段によって検出し、光学情報を得る近視野光学顕微鏡装置であって、前記光ファイバプローブが前記光源からの光の偏波を保存する特性を有することを特徴とする近視野光学顕微鏡装置。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 21/00

Fターム (22件)：

2F065AA37 ,  2F065AA49 ,  2F065FF00 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065GG25 ,  2F065HH04 ,  2F065HH09 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065LL24 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ27 ,  2H052AA07 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34 ,  2H052AF07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 情報記録再生装置、プローブ走査型顕微鏡、微細加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-017116   出願人：株式会社日立製作所
• 走査型反射光顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-042458   出願人：株式会社日立製作所