特許
J-GLOBAL ID：200903080260703209

フローセンサ

発明者：
内山 英樹

内山 英樹 について

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郡司 健

郡司 健 について

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大島 裕太

大島 裕太 について

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坂口 弘倫

坂口 弘倫 について


出願人/特許権者：
SMC株式会社

SMC株式会社 について


代理人 (5件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸 ,  鹿島 直樹 ,  田久保 泰夫 ,  大内 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-138824
公開番号（公開出願番号）：特開2009-287982
出願日： 2008年05月28日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：
【課題】流体の流量を検出可能な検出部を有するフローセンサにおいて、前記検出部に対する水分等の浸入を防止して耐久性を向上させる。【解決手段】フローセンサ10は、筒状に形成されたボディ14の側面に検出部16が設けられ、前記ボディ14の内部に形成された第1及び第2通路26、28が、第1及び第2センサ通路34、36を介して前記検出部16の導入通路18と連通している。この第1及び第2センサ通路34、36は、ボディ14の内周面から所定高さで半径内方向に突出した第1及び第2突出部38、40に貫通してそれぞれ開口し、前記第1及び第2通路26、28と連通している。そして、第1通路26から第1センサ通路34へと流通した流体が、導入通路18へと導かれて検出部16によってその流量が検出された後、第2センサ通路36を通じて第2通路28へと流通する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体が流通する上流側に設けられる第1通路と、前記第1通路に対して下流側に設けられる第2通路と、該第1通路と第2通路との間に設けられた絞りとを有するボディと、 前記ボディに設けられ、前記第1通路から第2通路へと流通する前記流体の流量を検出可能な検出部と、 前記検出部に臨み、且つ、前記第1及び第2通路にそれぞれ連通し、前記流体を前記検出部へと流通させる検出通路と、 前記第1及び第2通路の内壁面からそれぞれ突出し、内部に前記検出通路が設けられた一組の突出部と、 を備え、 前記検出通路は、前記突出部を介して前記第1及び第2通路側に開口することを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
G01F 1/684 ,  G01F 1/00
FI (2件)：
G01F1/68 101B ,  G01F1/00 S
Fターム (3件)：
2F030CC11 ,  2F030CF09 ,  2F035EA00
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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