流量制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148266
公開番号（公開出願番号）：特開2004-355045
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】汎用性の高いマスフローコントローラを提供する。【解決手段】流量制御弁10は、支持部材30やクランプ55により、流量センサ40、レギュレータ60及び流路本体13が一体的に構成されるとともに、それらが互いに着脱可能となっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

両端に開口部を有する流路本体と、前記流路本体内のメイン流路から分岐したバイパス流路におけるガス流量を測定する流量センサと、前記流量センサで測定された前記ガス流量に基づいて前記メイン流路におけるガスの流量制御を行う流量制御弁とを一体的に構成した流量制御装置において、前記流量センサ、前記流量制御弁及び前記流路本体を互いに着脱可能に構成したことを特徴とする流量制御装置。

IPC (4件)：

G05D7/00 , G01F1/00 , G01F15/06 , G01F15/18

FI (5件)：

G05D7/00 Z , G01F1/00 S , G01F1/00 X , G01F15/06 , G01F15/18

Fターム (14件)：

2F030CC11 , 2F030CE04 , 2F030CE13 , 2F030CE22 , 2F030CF05 , 2F030CF08 , 2F030CF14 , 2F031AB07 , 5H307BB02 , 5H307CC12 , 5H307DD15 , 5H307EE02 , 5H307FF06 , 5H307FF23

引用特許：

審査官引用 (4件)

マスフローコントローラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-159188 出願人：日立金属株式会社
特開平2-257205
マスフローコントローラの分流構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-073090 出願人：日本アエラ株式会社, 株式会社シナジー

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