特許
J-GLOBAL ID：200903080377293516

電気めっき槽

発明者：
ロバート・ディー・ミッコラ

ロバート・ディー・ミッコラ について

, 
ダヤン・ワン

ダヤン・ワン について

, 
チャンイ・ウー

チャンイ・ウー について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. について


代理人 (3件)： 千田 稔 ,  辻永 和徳 ,  橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-390291
公開番号（公開出願番号）：特開2004-169188
出願日： 2003年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】電子デバイス、例えばプリント配線板および集積回路の製造において、ピットおよび空隙を含まない、銅充填されたミクロン以下のサイズの開口部を供給しうる、1つまたはそれ以上の抑制剤化合物を含む銅電気めっき浴を提供する。【解決手段】このような銅電気めっき浴は、1つまたはそれ以上の銅イオン源、電解質、および重合単位として2つまたはそれ以上のアルキレンオキシドモノマーを含む1つまたはそれ以上のポリ(アルキレンオキシド)ランダムコポリマーを含む。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
1つまたはそれ以上の銅イオン源、電解質、および重合単位として2つまたはそれ以上のアルキレンオキシドモノマーを含む1つまたはそれ以上のポリ(アルキレンオキシド)ランダムコポリマーを含む組成物。
IPC (3件)：
C25D3/38 ,  C25D7/06 ,  C25D7/12
FI (3件)：
C25D3/38 ,  C25D7/06 J ,  C25D7/12
Fターム (17件)：
4K023AA19 ,  4K023BA06 ,  4K023BA07 ,  4K023CB33 ,  4K023DA02 ,  4K023DA06 ,  4K024AA09 ,  4K024AB01 ,  4K024AB02 ,  4K024AB15 ,  4K024BB11 ,  4K024BB12 ,  4K024BB13 ,  4K024CA01 ,  4K024CA02 ,  4K024DA10 ,  4K024GA16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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