特許
J-GLOBAL ID：200903080494794909
磁性積層膜、磁気記録媒体、磁気抵抗効果積層膜、及び磁気ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-238891
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051411
出願日： 2001年08月07日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】【課題】 容易かつ安定に作製できる高結晶性の積層膜、特に磁性積層膜の構造を提供する。【解決手段】 ZnOなどからなる酸化物下地膜141とCuなどからなる金属下地膜142を積層した下地膜14用いて高結晶性積層膜101を得、抵抗変化率の高い巨大磁気抵抗効果積層膜や、高記録密度の磁気記録媒体を得る。
請求項（抜粋）：
基体上に形成された下地膜と、前記下地膜の上に形成された磁性膜とを備える磁性積層膜において、前記下地膜は、Zn,Sn,Pb,In,Bi,Mg,Cuのいずれかの酸化物からなる酸化物下地膜と、前記酸化物下地膜の上に形成されたCu,Au,Ag,Al,Sn,Pb,In,Biあるいはこれらの合金からなる金属下地膜との積層膜であり、前記磁性膜は、3d遷移金属、あるいは3d遷移金属と貴金属(Pt,Ru,Rh,Re,Ir,Os,Cu)の合金、もしくはこれらの積層膜からなる金属薄膜であることを特徴とする磁性積層膜。
IPC (8件)：
H01F 10/30
, G01R 33/09
, G11B 5/39
, G11B 5/65
, G11B 5/738
, H01F 10/16
, H01F 10/32
, H01L 43/08
H01F 10/30
, G11B 5/39
, G11B 5/65
, G11B 5/738
, H01F 10/16
, H01F 10/32
, H01L 43/08 Z
, G01R 33/06 R
2G017AD55
, 2G017AD56
, 2G017AD62
, 2G017AD63
, 2G017AD65
, 5D006BB01
, 5D006BB07
, 5D006CA01
, 5D034BA03
, 5D034BA21
, 5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AA09
, 5E049AC00
, 5E049AC05
, 5E049BA12
, 5E049CB01
, 5E049DB02
, 5E049DB12
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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