特許
J-GLOBAL ID：200903080502396586
感熱式流量センサ
出願人/特許権者：
三菱電機株式会社
三菱電機株式会社 について
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-307138
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131112
出願日： 1998年10月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、感度が高く、信頼性の高い感熱式流量センサを得る。【解決手段】 この流量検出素子14は、平板状基材の表面に絶縁性の支持膜を形成し、支持膜上に感熱抵抗膜からなる発熱体4が形成され、発熱体形成領域の下部の平板状基材を裏面側から支持膜に至るように除去してダイアフラム部13が構成され、計測流体の温度を検出する測温体5がダイアフラム部13から離間して平板状基材上に設けられている。そして、ダイアフラム部13を貫通する円形の穴9a〜9e、10a〜10eが発熱体4の両側に発熱体4に沿って1列に設けられている。この流量検出素子14は、発熱体4の温度を測温体5の検出温度より一定温度高く維持するように制御される発熱体5への加熱電流を出力信号として流量や流速を計測する流量センサに組み込まれる。
請求項（抜粋）：
一部を除去して空間が設けられた平板状基材と、上記空間上に上記平板状基材と一体に薄肉状に形成されたダイアフラム部と、上記ダイアフラム部上に形成された感熱抵抗膜からなる発熱体とからなる流量検出素子を備え、上記発熱体に通電することによって加熱された部分から計測流体への伝熱量に基いて計測流体の流量を計測する感熱式流量センサにおいて、上記流量検出素子は、上記ダイアフラム部を貫通する穴が上記発熱体の外周部に複数設けられ、該穴は角部を鈍角とする穴形状、もしくは角部を実質的に有しない穴形状に形成されていることを特徴とする感熱式流量センサ。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (3件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved