特許
J-GLOBAL ID：200903080513849205
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-174581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009472
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 振動子の連続振動を安定なものとし、角速度検出精度を高くする。【解決手段】 点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子(6a,6b);これらに連続しx方向に撓む、点Oに関して対称な第1支持梁(2a,3a,4a,5a,7a,8a/2b,3b,4b,5b,7b,8b);基板(100)に対して、点Oにおいて第1支持梁を浮動支持するアンカー(1);点Oに関して対称な、窓付平板リング状の検出振動子(19);点Oに関して対称であって、第1支持梁および検出振動子(19)に連続する連結梁(17,18);対のx振動子(6a,6b)を、x方向に逆相で振動させるための駆動電極(11a〜14a);および、検出振動子(19)の、点Oを中心とする回転振動を検出する複数対の、検出固定電極(30,31);を備える。検出固定電極(30,31)は、検出振動子(19)の窓内にある。駆動電極(11a〜14a),駆動検出電極(11b〜14b)および第1支持梁は、検出振動子(19)の内空間にある。
請求項（抜粋）：
x,y平面上の一点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子;これらの振動子に連続しx方向に撓む、点Oに関して対称な第1支持梁;基板に対して、点Oにおいて第1支持梁を浮動支持するアンカー;点Oに関して対称な検出振動子;点Oに関して対称であって、第1支持梁および検出振動子に連続する連結梁;対のx振動子を、x方向に逆相で振動させるための励振手段;および、検出振動子の、点Oを中心とする回転振動を検出する手段;を備える角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F105BB03
, 2F105BB04
, 2F105BB20
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
, 2F105CD13
