マイクロメカニカル回転速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113266
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047972
出願日： 1997年05月01日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】振動の節に検出エレメント20が配設されており、これによって、回転によって惹き起こされた、振動の節のずれが検出可能である、励振手段10によって振動の腹および振動の節を有する振動に励振可能であるリング3を備えたマイクロメカニカル回転速度センサを低価格で製造することができるように改良する。【解決手段】リング、励振手段、検出エレメントが表面マイクロメカニカル素子としてサブストレート上に実現されている。

請求項（抜粋）：

励振手段(10)によって振動の腹および振動の節を有する振動に励振可能であるリング(3)を備えたマイクロメカニカル回転速度センサであって、振動の節に検出エレメント(20)が配設されており、該検出エレメントによって、回転によって惹き起こされた、振動の節のずれが検出可能である形式のものにおいて、前記リング(3)、前記励振手段(10)および前記検出エレメント(20)が表面マイクロメカニカル素子としてサブストレート上に実現されていることを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

振動ジャイロスコープのためのミクロ構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-094469 出願人：ゼネラル・モーターズ・コーポレーション
プローブユニットの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-277694 出願人：キヤノン株式会社
センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-113557 出願人：ブリテッシュエアロスペースパブリックリミテッドカンパニー

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