特許
J-GLOBAL ID：200903080597734599

基板重ね合わせ装置

発明者：
青木 誠一

青木 誠一 について

, 
杉本 龍二

杉本 龍二 について


出願人/特許権者：
アネルバ株式会社

アネルバ株式会社 について


代理人 (1件)： 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-106094
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229471
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 一対の基板を平行で且つ所定の間隔を持って所定の位置関係で重ね合わせる装置において、ギャップ出しやアライメントの均一化や精度向上、装置構造の簡略化による低コスト化、生産性向上、気泡発生やゴミ混入の低減等を課題とする。【解決手段】 真空容器を構成する一対の基板保持具1,2が一対の基板91,92を保持し、開閉機構5によって閉じた後、内部が排気系41によって排気され、ギャップ出しとアライメントが真空中で行われる。差圧印加機構62が一方の基板92の背後の隔膜22によって形成される閉空間内にガス導入して基板92を押圧するとともに、押圧機構61が機械的に一方の基板92を押圧することでギャップ出しが行われる。複数の距離センサ63により一対の基板91,92のギャップ長及び平行度が計測され、ギャップ出しの動作がフィードバック制御される。
請求項（抜粋）：
真空中で一対の基板を互いに平行で且つ所定の隙間を持って重ね合わせる基板重ね合わせ装置であって、一対の基板を保持する一対の基板保持具と、一対の基板保持具の少なくとも一方を基板の厚さ方向に移動させて一方の基板と他方の基板とのギャップ長を所定の値にするギャップ出しを行うギャップ出し用移動手段と、一対の基板の板面方向の位置関係が所定のものになるよう一対の基板保持具の少なくとも一方を基板の板面方向に移動させるアライメントを行うアライメント用移動手段とを備えており、前記一対の基板保持具の少なくとも一方は、前記ギャップ出し及び前記アライメントの際に前記一対の基板が内部に位置する真空容器を構成する部材であることを特徴とする基板重ね合わせ装置。
IPC (2件)：
G09F 9/00 338 ,  G02F 1/13 101
FI (2件)：
G09F 9/00 338 ,  G02F 1/13 101
Fターム (10件)：
2H088FA01 ,  2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA17 ,  5G435AA17 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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