特許

J-GLOBAL ID：200903080655736564

圧力センサ

発明者： 川村 圭
出願人/特許権者： 横河電機株式会社 ,  横河エムアンドシー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111067
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310825
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 汎用ピエゾ圧力センサに代表される高速の圧力センサ出力と、レゾナント圧力センサに代表される高精度、高安定の圧力センサの出力を有機的に合成し、高速応答かつ高精度、高安定な圧力センサを実現すること。【解決手段】 汎用精度を有する応答速度の速い第1圧力センサ手段と、この第1圧力センサより精度並びに安定度は高いが応答速度は遅い第2圧力センサ手段と、前記第1圧力センサ出力と前記第2圧力センサ出力の差を演算する差分演算手段と、前記第1圧力センサ出力に、前記差分演算手段出力を加算して圧力信号を発信する加算手段と、を具備した。

請求項（抜粋）：

汎用精度を有する応答速度の速い第1圧力センサ手段と、この第1圧力センサより精度並びに安定度は高いが応答速度は遅い第2圧力センサ手段と、前記第1圧力センサ出力と前記第2圧力センサ出力の差を演算する差分演算手段と、前記第1圧力センサ出力に、前記差分演算手段出力を加算して圧力信号を発信する加算手段と、を具備した圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/00 E ,  G01L 9/00 Z ,  H01L 29/84 A

Fターム (21件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055CC51 ,  2F055CC55 ,  2F055DD19 ,  2F055EE13 ,  2F055EE21 ,  2F055EE23 ,  2F055EE25 ,  2F055FF02 ,  2F055FF12 ,  2F055FF49 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112BA08 ,  4M112CA01 ,  4M112CA08 ,  4M112CA15 ,  4M112CA33 ,  4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 物理量センサおよび物理量センサシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-159497   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-032733
  
• 伝送器自動校正方法及び伝送器自動校正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-244054   出願人：三菱重工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• DPharp電子式差圧伝送器 DPharp Series Electric Differential Pressure Transmitter