特許
J-GLOBAL ID：200903080673111920

赤外線センサおよびその製造方法

発明者：
太田 最実

太田 最実 について

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廣田 正樹

廣田 正樹 について

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岩島 誠

岩島 誠 について

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福山 康弘

福山 康弘 について


出願人/特許権者：
日産自動車株式会社

日産自動車株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-148250
公開番号（公開出願番号）：特開2007-316005
出願日： 2006年05月29日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】赤外線検出素子を形成した半導体素子基板に凹部を形成した封止用基板を接合して、赤外線検出素子を凹部内に真空封止した赤外線センサの凹部内の真空を維持することのできる赤外線センサを提供する。【解決手段】赤外線検出素子4aは半導体素子基板2の表面に形成され、梁21a,21bと、それらの梁21により支持された受光部22とを備えている。受光部22は、赤外線吸収膜22aとメンブレン22bとから構成される。赤外線吸収膜22aの表面には、不純物ガスを吸着するゲッタ材料からなるゲッタ層41が形成される。樹脂封止基板の凹部内の不純物ガスはゲッタ層41によって吸着され、凹部内の真空は維持される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
真空封止した空所に配設された赤外線検出素子と、 前記赤外線検出素子の赤外線を受光する受光部に設けられ、前記空所内の不純物ガスを吸着するゲッタ層とを備えることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (1件)：
G01J 1/02
FI (2件)：
G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q
Fターム (9件)：
2G065AA04 ,  2G065AA08 ,  2G065AA12 ,  2G065AB02 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BA38 ,  2G065BB24 ,  2G065DA20
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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