特許

J-GLOBAL ID：200903080676018777

放射線検出装置

発明者： 足立 晋
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-051714
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258215
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】 X線変換膜のトラップ電荷の影響を除去し、安定したTFTの高圧保護動作を実現することができる放射線検出装置を提供する。【解決手段】 X線変換膜1に入射したX線は、X線変換膜1内で電荷信号に変換され、印加されている内部電界で駆動されて画素電極3に到達し、そこで電荷信号として電荷蓄積容量5に蓄えられる。TFT4の上部に、トラップされた電子により空間電荷が形成された場合、これによる影響はシールド電極9によって遮断されるため、TFT4のスイッチング特性が変調を受けることはない。したがって、過剰なX線入射があった場合でも、TFT4が安定にオンすることが可能となり、放電破壊を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

放射線に感応し電荷信号を出力する放射線変換膜と、この放射線変換膜の放射線入射側に設けられた共通電極と、前記変換膜からの出力電荷を収集する画素電極と、この画素電極に収集された電荷を蓄積する蓄積容量と、この蓄積容量に蓄積された信号電荷を外部回路に出力する薄膜トランジスタ(TFT)アレイとを備えた放射線検出装置において、前記放射線変換膜と前記TFTとの間にシールド電極を設けたことを特徴とする放射線検出装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/10

FI (5件)：

G01T 1/24 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/10 G ,  H01L 27/14 C

Fターム (33件)：

2G088EE01 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ31 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CB11 ,  4M118FB03 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118FB24 ,  5F049MA20 ,  5F049MB01 ,  5F049NA04 ,  5F049NB05 ,  5F049RA02 ,  5F049RA08 ,  5F049UA20 ,  5F049WA07 ,  5F088AA11 ,  5F088AB01 ,  5F088BA03 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA02 ,  5F088EA08 ,  5F088EA20 ,  5F088JA17 ,  5F088KA03 ,  5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光電変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-139126   出願人：キヤノン株式会社
• 放射線検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-240026   出願人：株式会社島津製作所, 新電元工業株式会社, 山梨電子工業株式会社
• 2次元X線センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-106014   出願人：松下電器産業株式会社
• 二次元画像検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-165136   出願人：シャープ株式会社