特許
J-GLOBAL ID:200903080704504941
赤外線吸収体及びこの赤外線吸収体を用いた熱型赤外線センサ
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青木 輝夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-104304
公開番号(公開出願番号):特開2000-292254
出願日: 1999年04月12日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 赤外線吸収率が高く、且つ高速応答性を持ち、低コストで生産が容易な赤外線吸収体を提供する。【解決手段】 外部からの入射赤外線のエネルギーを熱に変換するための赤外線吸収体Fであって、2つの金属薄膜1、2を有し、第1の金属薄膜1と第2の金属薄膜2との間に絶縁膜3を介在させて、第1及び第2の金属薄膜1、2間を絶縁すると共に、第1及び第2の金属薄膜1、2を熱的に接続した。
請求項(抜粋):
外部からの入射赤外線のエネルギーを熱に変換するための赤外線吸収体であって、少なくとも2つ以上の金属薄膜を有し、且つその隣り合う前記金属薄膜間に絶縁膜を介在させて多層構造にしたことを特徴とする赤外線吸収体。
IPC (4件):
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 27/14
, H01L 35/32
FI (4件):
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 B
, H01L 35/32 A
, H01L 27/14 K
Fターム (16件):
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA14
, 2G065BB50
, 2G066BA08
, 2G066BA60
, 2G066BB11
, 4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118BA05
, 4M118CA14
, 4M118CB13
, 4M118CB14
, 4M118GA10
, 4M118GD15
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
赤外線固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-012269
出願人:三菱電機株式会社
-
赤外線検出素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-289709
出願人:日産自動車株式会社
審査官引用 (2件)
-
赤外線固体撮像素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-012269
出願人:三菱電機株式会社
-
赤外線検出素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-289709
出願人:日産自動車株式会社
前のページに戻る