特許

J-GLOBAL ID：200903080805667353

基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法

発明者： 大田黒 竜
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-136427
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342771
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】基板自身の有する平坦度を維持した状態で前記基板を保持することができ、精密に測定や処理、検査等を行うことができるようにする基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法の提供を目的とする。【解決手段】基板をプレート面上に安定的に保持させる基板保持具であって、基板Sの下面と前記プレート面11aとの間に介在し、基板Sを浮上させるための流体層を形成する流体層形成手段11b,11dと、前記流体層によって基板Sを安定的に保持させ、かつ、前記流体層によって浮上させられた前記基板Sの少なくとも下面又は側面に当接して、前記基板を前記プレート面11a上の所定位置に位置決めするための位置決め手段13とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板をプレート面上の所定位置で安定的に保持させる基板保持具であって、 前記基板の下面と前記プレート面との間に介在し、前記基板を浮上させるための流体層を形成する流体層形成手段と、 前記流体層によって前記基板を安定的に保持させ、かつ、前記流体層によって浮上させられた前記基板の少なくとも下面又は側面に当接して、前記基板を前記プレート面上の所定位置に位置決めするための位置決め手段と、 を有することを特徴とする基板保持具。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/68 G

Fターム (14件)：

5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA12 ,  5F031HA26 ,  5F031HA29 ,  5F031HA30 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA80 ,  5F031KA02 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 気流搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128933   出願人：株式会社日立製作所
• 板状部材保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-352227   出願人：株式会社堀場製作所

審査官引用 (2件)

• 気流搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128933   出願人：株式会社日立製作所
• 板状部材保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-352227   出願人：株式会社堀場製作所