特許
J-GLOBAL ID：200903080812508988

ワークの熱圧着装置

発明者：
佐藤 聖一

佐藤 聖一 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180102
公開番号（公開出願番号）：特開2000-013005
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 加熱・冷却時の応答性に優れ、サイクルタイムを短縮することができるとともに、真空吸着時にも空冷が可能であり断熱効果が優れたワークの熱圧着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 昇降ブロック7に通気性を有する多孔質部材12を介してセラミックヒータ13を装着し、セラミックヒータ13に直接熱圧着ツール14を装着する。熱圧着ツール14の吸着孔18は多孔質部材12を貫通して形成された孔部12a内の管部材16を介して真空吸引部22と連通している。また多孔質部材12にはエア供給源23,窒素ガス供給源24が接続されている。これにより、従来必要であった断熱材をなくして加熱冷却時の応答性を向上させてサイクルタイムを短縮することができるとともに、ワークの真空吸引と保持部材の断熱冷却を同時に行うことができる。
請求項（抜粋）：
第1のワークに対して昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロックに通気性を有する多孔質部材を介して装着された発熱手段と、この発熱手段に接触して取付けられ第2のワークを吸着保持する吸着孔が設けられた保持部材と、前記多孔質部材を貫通して形成され前記吸着孔に連通する通気孔と、この通気孔と前記多孔質部材との間の通気を遮断する通気遮断手段と、前記通気孔と連通し前記第2のワークを吸引保持するための真空吸引を行う吸引手段と、前記多孔質部材の表面に連通しこの多孔質部材へ気体を供給する気体供給手段とを備えたことを特徴とするワークの熱圧着装置。
IPC (2件)：
H05K 3/32 ,  H01L 21/60
FI (3件)：
H05K 3/32 C ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z
Fターム (4件)：
5E319AA03 ,  5E319BB04 ,  5E319CC22 ,  5E319CC49
引用特許：
審査官引用 (4件)
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