特許
J-GLOBAL ID:200903080835459003
時間シアリング光コヒーレンストモグラフィー装置及び方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
光田 敦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-134034
公開番号(公開出願番号):特開2004-340581
出願日: 2003年05月13日
公開日(公表日): 2004年12月02日
要約:
【課題】振動に対して安定であると共に、機械走査次元の問題を解消して計測時間の短縮を実現する。【解決手段】時間シアリング光コヒーレンストモグラフィー装置は、光源1と、光源1からの光を照射することにより、被計測試料7からの物体光と、参照光とが、スペクトル干渉すると共に、物体光及び参照光が進む共通の光路Pと、物体光と参照光とがスペクトル干渉することにより生じるスペクトル干渉縞を計測する分光器9と、を具備する。参照光と物体光に共通の光路Pを用いることで振動に対する安定性を高めている。また、時間軸のインターフェログラムを直接計測するのではなく、スペクトル領域における干渉縞を計測し、そこから時間軸のインターフェログラムを計算する方法を用いることで、深さ方向に対する機械的走査を解消している。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、
前記光源からの光を照射することにより、被計測試料からの物体光と、参照光とが、スペクトル干渉すると共に、該物体光及び該参照光が進む共通の光路と、
前記物体光と前記参照光とが前記スペクトル干渉することにより生じるスペクトル干渉縞を計測する分光器と、
を具備することを特徴とする時間シアリング光コヒーレンストモグラフィー装置。
IPC (3件):
G01N21/17
, G01B9/02
, G01N21/45
FI (3件):
G01N21/17 620
, G01B9/02
, G01N21/45 A
Fターム (32件):
2F064AA01
, 2F064EE05
, 2F064FF02
, 2F064GG11
, 2F064GG22
, 2F064GG49
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ02
, 2F064JJ15
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE10
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059FF04
, 2G059FF08
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ01
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059MM01
引用特許: