特許

J-GLOBAL ID：200903080841119494

光学窓を備える測定室

発明者： 平川 誠一 ,  高地 徹
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 井ノ口 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-127875
公開番号（公開出願番号）：特開2003-322611
出願日： 2002年04月30日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】 入射光学窓を有する試料室を用いるエリプソメータ測定において、入射角を変えても正確な測定点を確保できる測定室を提供する。【解決手段】 本発明による光学窓を備える測定室は、試料3を配置する試料室1と、光学窓6または7を備えている。光学窓支持部材4または5は、一端で前記光学窓6または7を支持して前記試料室1に結合されている。そして前記光学窓支持部材は、前記光学窓と前記試料の測定点を結ぶ光8,9が前記光学窓6または7に垂直になるように姿勢調節可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

試料を配置する試料室と、光学窓と、一端に前記光学窓を支持して前記試料室に結合されており、前記光学窓と前記試料の測定点を結ぶ光が前記光学窓に垂直になるように姿勢調節可能な光学窓支持部材と、を備える光学窓を備える測定室。

IPC (4件)：

G01N 21/01 ,  G01J 3/02 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/27

FI (5件)：

G01N 21/01 Z ,  G01N 21/01 C ,  G01J 3/02 Z ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/27 B

Fターム (11件)：

2G020CB07 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD15 ,  2G059DD13 ,  2G059DD15 ,  2G059DD16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059NN10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• チャンバ内等に含まれる試料の楕円偏光測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-156684   出願人：ソシエテ・ドゥ・プロデュクシオン・エ・ドゥ・ルシェルシェ・アプリケ
• 水中点検装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-176782   出願人：株式会社東芝

引用文献：

審査官引用 (1件)

• "Effects of processing conditions on the growth of nanocrystalline diamond thin films: real time spe