チャンバ内等に含まれる試料の楕円偏光測定方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156684
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071462
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】チャンバ内の試料を取り出すことなくその表面状態を非破壊測定する。【解決手段】照明ビーム生成用の光源(2)をチャンバ外部に設け、チャンバ外部に照明ビームの偏光デバイス(10)を設け、試料表面と平行な平面内に配置されチャンバを少なくとも部分的に閉鎖する窓(22)を設け、偏光デバイスから窓を通し試料の一領域に伸長する試料表面に対し所定の入射角第1光路に沿って偏光された照明ビームを試料の前記領域に向けさせ、照明ビームによる試料の前記領域への照明により生じる試料表面の法線に対し照明ビームと対称な反射ビームを生成し、チャンバ外部に偏光解析デバイス(24)を設け、試料から窓を通して解析デバイスに伸長する第2光路に沿って反射ビームを解析デバイスに集束させ、解析デバイスからの出力ビームを検出して出力信号を供給し、出力信号を処理し前記領域での反射により生じる偏光の位相・振幅状態の変化を決定する。

請求項（抜粋）：

チャンバ内に含まれる試料の楕円偏光測定方法であって、a)照明ビームを生成するためにチャンバの外部に光源を設けるステップと、b)照明ビームを偏光させるためにチャンバの外部に偏光デバイスを設けるステップと、c)試料の表面に実質的に平行な平面内に配置され、チャンバを少なくとも部分的に閉鎖する、選択された寸法および特徴を有する窓を設けるステップと、d)前記偏光デバイスから前記窓を通して前記試料の一領域まで伸長する第1光路であって、試料表面に対して予め定められた斜めの入射角を形成する前記第1光路に沿って、偏光された照明ビームを試料の前記領域に向けさせるステップと、e)前記照明ビームによる前記試料の前記領域の照明から結果的に生じる反射ビームであって、前記試料表面の法線に対して前記照明ビームに対称な反射ビームを生成するステップと、f)チャンバの外部に偏光解析デバイスを設けるステップと、g)前記試料から前記窓を通して前記解析デバイスまで伸長する第2光路に沿って、前記反射ビームを前記解析デバイスに集束させるステップと、h)出力信号を供給するために前記解析デバイスから送信される出力ビームを検出するステップと、i)前記試料の前記領域における反射によって生じる偏光の位相および振幅の状態の変化を決定するために前記出力信号を処理するステップとを含む方法。

IPC (6件)：

G01J 4/04 , G01N 21/21 , H01L 21/66 , G01B 11/06 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (6件)：

G01J 4/04 A , G01N 21/21 Z , H01L 21/66 P , G01B 11/06 Z , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

Fターム (53件)：

2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065CC17 , 2F065CC25 , 2F065EE00 , 2F065FF44 , 2F065FF50 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065HH04 , 2F065HH10 , 2F065HH12 , 2F065JJ01 , 2F065JJ08 , 2F065LL02 , 2F065LL33 , 2F065LL68 , 2F065PP03 , 2F065QQ00 , 2F065QQ26 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059BB16 , 2G059DD13 , 2G059DD18 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059FF04 , 2G059GG01 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059JJ01 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106BA05 , 4M106CA48 , 4M106DG08 , 4M106DH03 , 4M106DH12 , 4M106DJ04 , 5F004BB18 , 5F004CB09 , 5F004DA01 , 5F045GB09

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-126106
特表平7-502344
特開平4-007852

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