特許
J-GLOBAL ID：200903080873387490
電力供給制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122109
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070852
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 バックアップ電力供給装置より予備電力が複数の半導体製造設備に同時に供給される場合においても、バックアップ電力供給装置の限界による電力供給の中断を防止する電力供給制御装置を提供すること。【解決手段】 工程状態検出器330,390,450により設備310,370,430の動作モードを検出し、その検出された動作モードに合った電力をユニットコントローラ230,250,270及び電力供給ユニット290,350,410で制御して設備310,370,430に供給する。
請求項（抜粋）：
半導体製造設備に使用される電力供給制御装置において、商業用電力を供給する商業用電力ラインと、前記商業用電力ラインでの停電発生を検出して停電検出信号を発生する停電検出器と、前記停電検出信号により予備電力を供給するバックアップ電力供給装置と、前記停電検出信号により電力選択信号を発生し、かつ動作開始信号を発生するメインコントローラと、前記電力選択信号により半導体製造設備に前記商業用電力と前記予備電力を選択的に供給するメイン電力供給装置と、前記半導体製造設備の各々に対応して各設備の動作モードを検出してモード検出信号を発生する複数個の工程状態検出器と、前記工程状態検出器の各々に対応し、前記動作開始信号により動作し、前記モード検出信号に応じて電力制御信号を発生する複数個のユニットコントローラと、前記ユニットコントローラの各々に対応し、前記電力制御信号に応じて前記メイン電力供給装置より前記各半導体製造設備に供給される電力の量を制御する複数個の電力供給ユニットとを具備することを特徴とする電力供給制御装置。
IPC (3件)：
H02J 9/06 502
, H02J 1/00 306
, H02J 3/00
H02J 9/06 502 F
, H02J 1/00 306 G
, H02J 3/00 B
, H02J 3/00 K
