特許
J-GLOBAL ID:200903080876396598
プラズマディスプレイパネルと、その製造設備及び製造工程
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-224600
公開番号(公開出願番号):特開2002-075197
出願日: 2001年07月25日
公開日(公表日): 2002年03月15日
要約:
【要約】【課題】 接合時に不純ガスが発生しないようし、且つ常温で接合することで、製品の生産工程に必要な時間を減らし、パネルの特性低下や性能低下及びパネル損傷を防止できるようにしたプラズマディスプレイパネルとその製造設備及び製造工程を提供する。【解決手段】 保護膜成膜手段と、基板搬送手段と、洗浄手段と、密封材塗布手段と、放電ガス注入/接合手段とを備え、大気から密閉され且つ、一体化されるように全体の製造設備を構成し、製造工程及びプラズマディスプレイパネルの構造を常温接合が可能であるように形成するので、製造時間の短縮によって生産効率が増大し、パネルの特性低下が防止されて、製品の品質を向上させることができる。
請求項(抜粋):
第1基板にMgO保護膜を形成する保護膜成膜手段と、前記保護膜成膜手段から第1基板が移送され、第2基板が挿入されて、双方の基板を次の製造設備に搬送する基板搬送手段と、前記基板搬送手段を介して移送した第1基板又は第2基板に存在する不純物を除去し、真空排気する洗浄手段と、前記洗浄手段から移送された第1基板に密封材を塗布する密封材塗布手段と、内部に放電ガスを注入し、前記密封材塗布手段から移送された第1基板と第2基板をアラインロボットを用いて精密に整列させ、接合する放電ガス注入/接合手段と、を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造設備。徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネルの製造設備。
IPC (4件):
H01J 9/26
, H01J 9/02
, H01J 9/395
, H01J 11/02
FI (5件):
H01J 9/26 A
, H01J 9/02 F
, H01J 9/395 A
, H01J 11/02 B
, H01J 11/02 D
Fターム (12件):
5C012AA09
, 5C012BC03
, 5C027AA05
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GE09
, 5C040GJ10
, 5C040HA04
, 5C040MA10
, 5C040MA26
引用特許: