特許
J-GLOBAL ID:200903080965560253
線状材料の形状測定方法及びその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤谷 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-096825
公開番号(公開出願番号):特開2001-280930
出願日: 2000年03月31日
公開日(公表日): 2001年10月10日
要約:
【要約】【課題】1周当たりの測定回数を増加させることなく、従って、1周当たりの測定速度を低下させることなく、正確な形状測定を実現すること。【解決手段】線状材料の側面から光を照射して反対側においてその光を受光し線状材料の影の長さを測定することを、線状材料を囲む周上の異なる角度において実施し、角度に対する影の長さの変化特性から、線状材料の形状を測定する形状測定方法及び装置である。この変化特性における特異点の各片側にある複数の測定点をそれぞれ直線近似して、その2つの直線の交点に基づいて特異点を決定し、決定された特異点から形状を決定する。この交点は理論値に基づいて決定されている所定補正量だけ補正されて特異点とされる。
請求項(抜粋):
線状材料の側面から光を照射して反対側においてその光を受光し線状材料の影の長さを測定することを、線状材料を囲む周上の異なる角度において実施し、前記角度に対する前記影の長さの変化特性から、前記線状材料の形状を測定する形状測定方法において、前記変化特性における特異点の各片側にある複数の測定点をそれぞれ関数近似して2つの関数を求め、これらの2つの関数の交点に基づいて特異点を決定し、決定された特異点から形状を決定することを特徴とする線状材料の形状測定方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 11/04 Z
, G01B 11/24 G
Fターム (20件):
2F065AA21
, 2F065AA52
, 2F065BB12
, 2F065BB15
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF02
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065JJ15
, 2F065MM09
, 2F065PP22
, 2F065QQ01
, 2F065QQ17
, 2F065QQ18
, 2F065QQ28
, 2F065QQ29
引用特許: